Menu
Hệ thống Quickstep System
Dòng sản phẩm Quickstep của Obducat có thể được định cấu hình dưới dạng gắn trên băng ghế bán tự động hoặc như máy trộn quay độc lập (cho cối hở hoặc RCCT), máy phủ phun sương, hệ thống Lift-Off, máy quay xử lý ướt và tấm nóng/lanh hay HMDS cho các ứng dụng thể tích thấp và sản xuất thử nghiệm.
Hệ thống Quickstep có nhiều tùy chọn cho phép vận hành và bảo trì dễ dàng.
Hệ thống Quickstep có nhiều tùy chọn cho phép vận hành và bảo trì dễ dàng.
Đặc điểm
Đặc điểm
- Kích thước Wafer lên đến Ø 12 ” (Ø 300 mm) hoặc kích thước đế lên đến 9″ X 9 “(230 mm X 230 mm)
- Bề mặt phủ cứng với công nghệ chống dính
- Các kênh chân không trên bề mặt để cố định wafer / đế bằng máy đo chân không có thể nhìn thấy
- Phạm vi nhiệt độ có thể lập trình lên đến 300 ° C, (lên đến 450 ° C như một tùy chọn)
- Thời gian quy trình có thể lập trình
- Nắp / nắp an toàn làm bằng thép không gỉ tráng gương để che nhiệt độ và an toàn
- Không cần bảng điều khiển riêng
- CE được đánh dấu
- Có sẵn các cấu hình gắn trên ghế dài, trên bàn hoặc độc lập